Metal surface treatment
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정밀세정

반도체, LCD, 유기EL, 첨단화학품, 고청점제약품 등의 제조공정에서 사용되는 각종장비 및 부품 표면에 피막형태, 파티컬형태, 흡착가스형태, 금속원자 및 이온형태, 흡착유기분자 형태 등르로 장비 및 부품 재질에 따라 전해연마, 전해세정 및 화학세정 등 각종 연마 세정기술을 체계적이고 복합적으로 오염물질을 제거하는 세정방법.

(주)정림이피 정밀세정 기준 (IC Test)

세정기준 음이온 농도 비고
1 LEVEL F, CL,NO3, PO4, SO4 50 ppb 이하 Ion chromatography
2 LEVEL F, CL, NO3, PO4, SO4 100 ppb 이하
3 LEVEL F, CL, NO3, PO4, SO4 140 ppb 이하
4 LEVEL F, CL, NO3, PO4, SO4 200 ppb 이하

(주)정림이피 정밀세정 성적서

F8-B호기 결과

시료명 시험 항목 단위 결과
Loader Chamber(면/홀) F- ㎕/L 불검출
CI- ㎕/L 11.08
NO3- ㎕/L 불검출
PO43- ㎕/L 불검출
SO42- ㎕/L 불검출
reference F- ㎕/L 불검출
CI- ㎕/L 10.34
NO3- ㎕/L 불검출
PO43- ㎕/L 불검출
SO42- ㎕/L 불검출

NOTE : 1) 분석기기 = Ion chromatography
             2) 불검출 = 검출되지 않음 (<정량한계)
             3) 정량한계 = 분석 가능한 결과치
             - F(-), CI(-), NO3(-), PO4(2-), SO4(2-) :10 ㎕/L

    시험성적서

  • 본사 : 충청남도 금산군 추부면 다복로 600-36 대표자 : 김정림 대표번호 : 041-752-5027

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